真空镀膜机泵组系统的应用及原理

真空镀膜机使用机械泵、机械泵也被称为前级泵、机械泵是使用较广的低真空泵油坚持密封效果和依托机械方法不断改动泵吸入腔的体积，所以容器内气体的体积胀大以取得真空。机械泵有很多种，常用的滑阀式、往复活塞式、固定板式和反转板式四种类型。
　　机械泵常用于收拾枯燥空气，但不能收拾过量的氧气、爆炸性和腐蚀性气体，但对水煤气效果不好，所以不能收拾水煤气。转子泵过程中起着重要作用的组件定子，转子，弹片等，转子与定子轴定子但不同,像两个内圈，转子槽设有两个弹片，两个弹片中间的绷簧，确保弹片严密附着在定子内壁。
　　它的两个弹片替换发挥着两种作用，一方面从吸入气体，另一方面，紧缩气体现已吸入，气体从泵中排出。转子每滚动一次，泵就结束两次吸气和两次排气。当泵继续顺时针旋转时，旋转叶片泵不断地经过进气口吸入气体，并从排气口不断地排出泵外，结束到抽吸容器的目的。为了进步约束真空泵泵定子浸泡在油，和空隙有害空间内常常坚持石油，密封和填补空白空间的有害影响，避免气体分子经过各通道反向流动到低压空间。
　　机械泵从大气初步工作，其主要参数有极限真空度、抽速，这是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从大气中抽吸至1.0* 10-1Pa的极限真空，两级机械泵可将容器从大气中抽吸至6.7* 10-2Pa或还高的极限真空。