真空镀膜机的环境要求
真空镀膜机要在真空条件下工作,因此该设备要契合真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所在实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状况或真空中的零件或外表要求两个方面。
这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空镀膜机的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的功用。如果空气中含有大量的水蒸气和尘埃,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要到预期的真空度很难的。油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘土的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会比较严重,效果使泵的真空下降,破坏了泵的抽气功用。
工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区别的。粉状体是粉末或固体颗粒的集结或分散状况的物质。所谓粉末是指细微的固体颗粒的集结,而颗粒是指能够一个一个计数的细微物质。烟雾体是以固体或液体的细微颗粒呈浮状况存在于气体中的物质系统。物质无论是固体仍是液体,凡是呈颗粒状况均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来承认空气清洁度的规范,然后定制出洁净室的等级。不光适合于有洁净要求的工业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。